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优势
局限
- 元素化学态信息丰富- 从Li开始，整个元素周期表元素都可定量- 角度分辨XPS可实现10nm内无损深度分析- 绝缘样品可直接分析
- 深度剖析分辨率可达nm尺度
- 空间分辨率较差- 无法检测H及He- 样品须满足在真空中稳定
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XRF（X射线荧光光谱）
EPMA（电子探针微区分析仪）
纳米压痕
MPMS（高精度磁学测量系统）
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